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中央空调系统有主机和末端系统。按负担室内热湿负荷所用的介质可分为全空气系统、全水系统、空气水统、制冷剂系统。按空气处理设备的集中程度可分为集中式和半集中式。按被处理空气的来源可分为封闭式、直流式、混合式(一次回风二次回风)。主要组成设备有空调主机(冷热源)、组合式空调机组(风柜)、风机盘管等等。为了便于使用和维修,主机的冷、热煤管路上应设截至阀止回阀、过滤器、平衡阀、压力表和温度计等。在蒸汽加热器的蒸汽管路上还要设蒸汽调节阀门和疏水器。为了保证表面式换热器正常工作,在水系统的制高点应设排空气装置(如立式和卧式排气阀),而在低点应设泄水阀门和排污阀门。
洁净室恒温恒湿空调通风系统耗电占整厂耗电量的约40~60%,一座晶圆厂的耗电量相当于一座十万人口的城市;大部分已建成洁净室,为降低成本和赶工期,导致未能采用有效的节能设备和方案,限有的大量洁净室,有很大的节能改善空间;
采用更加节能、带热回收的主机;变频技术、及通过系统分析对整个空调系统采用智能控制,提高系统运行cop通过采取全面改善措施,可以降低系统耗电10~30%。